為了保證VOCs廢氣處理設備的功能和準確性，降低故障的發生率，須重視設備的維護，主要分為裝檢查維護和定期維護。
　　1.裝載檢查和維護
　　這是一種基于VOCs廢氣處理設備實際技術狀況的預防性維護方法，技術狀況一般是通過常規檢查和定期檢查發現的，鑒于設備的劣化部位和程度，故障前期應做好預防性維護，消除故障隱患，恢復設備的功能和精度。
　　2.定期保養
　　這是一種基于VOCs廢氣處理設備特點設定的運行時間的預防性維護方法，用于常規維護。

　　在使用VOCs廢氣處理設備時，我們需要根據設備的磨損規律來確定保養類別、保養間隔、保養內容和技術要求。